Технические науки/8.
Обработка материалов в машиностроении
 
Д.т.н., профессор Жетесова Г.С.,  К.т.н., доцент Жаркевич О.М., Старший
преподаватель Нуржанова О.А., Докторант Плешакова Е.А., Магистрант Жунуспеков
Д.С. 
 
Карагандинский государственный
технический университет, Казахстан
 
О  МОБИЛЬНОМ И ТОЧНОМ
ИЗМЕРЕНИИ ТВЕРДОСТИ НАНОРАЗМЕРНЫХ ПОКРЫТИЙ
 
 
История развития науки и
техники неразрывно связана с развитием системы методов и средств измерений.
Переход к нанотехнологиям ставит перед наукой и техникой ряд новых
специфических задач, обусловленных малыми размерами элементов и структур, с
которыми имеет дело нанотехнология.
При этом, как никогда,
актуален  тезис: «если нельзя измерить,
то невозможно создать». 
Специфика нанотехнологий
привела к созданию и развитию нового направления в метрологии, с которым
связаны все теоретические и практические аспекты обеспечения требуемой
точности и единства измерений в нанотехнологиях [1].
Развитие нанотехнологий стимулирует
развитие методов исследования нано - и плёночных покрытий. При этом интерес
представляют нанопокрытия, позволяющие
улучшить физико-механические свойства рабочих поверхностей (в частности,
добиваться упрочнения режущего инструмента), толщины которых
составляют несколько нанометров [2].
Это выдвигает на первый план задачу
мобильного и точного измерения параметров наноразмерных покрытий. При этом
методы исследования должны относиться к методам оперативного и неразрушающего
контроля, данные которого могут быть получены в цифровом виде для быстрой обработки.
Свойства
поверхности, испытывающей воздействие динамических нагрузок, высоких температур
и агрессивных сред, во многом определяют служебные характеристики материала в
целом [3]. В последние годы ведущими  разработчиками и производителями научного
оборудования созданы высокоточные приборы для измерения свойств тонких
поверхностных слоев, многофункциональных защитных покрытий, многослойных тонких
пленок и других на микро- и наноуровне. Этим требованиям соответствует
нанотвердомер Nanohardness Tester, CSM Instruments, Швейцария.
Технические характеристики прибора
представлены в таблице 1.
Таблица 1 - Технические характеристики нанотвердомера
| 
   Характеристика  | 
  
   Значение характеристики  | 
 
| 
   Диапазон нагрузки   | 
  
   От 0,1 до 500 Н  | 
 
| 
   Разрешение по нагрузке  | 
  
   0,04 мкм  | 
 
| 
   Максимальная глубина индентирования  | 
  
   200
  мкм    | 
 
| 
   Разрешение по глубине  | 
  
   0,04 нм  | 
 
| 
   Скорость нагружения   | 
  
   До 10 Н/мин  | 
 
| 
   Платформа XY (for OPX)  | 
  
   120 мм×20 м 245 мм×120 мм  | 
 
| 
   Разрешение   | 
  
   XY 0,25 мкм  | 
 
| 
   Увеличение видеомикроскопа  | 
  
   200
  ×, 1000 ×    | 
 
| 
   Камера видеомикроскопа  | 
  
   Color 768×58    | 
 
 
Прибор предназначен для измерения
твердости Н, модуля упругости Е и упругого восстановления We по методу
наноиндентирования. Испытания соответствуют стандарту ISO/CD 14577-4. В
процессе измерений снимается кривая нагружение–разгрузка, представленная на
рисунке 1, которая в дальнейшем обрабатывается по методу Оливера-Фарра. 
 

 
Рисунок 1 – Кривая
нагружение-разгрузка
 
Суть метода состоит в аппроксимации
начального участка разгрузочной кривой степенной функцией:
 
                                                   Pmax = B(h - hf)m ,                                           (1)
 
где Рmax -максимальная
нагрузка, 
     
h -
глубина проникновения индентора, 
     
hf - глубина проникновения индентора после снятия нагрузки, 
В и m -
эмпирически определяемые параметры.
 
Наклон начального этапа разгрузочной кривой определяет жесткость
материала:
 
                                            
.                                 (2)
 
Глубина проникновения индентора hc при которой отпечаток
повторяет форму алмазной пирамиды также определяется из графика
нагружение-разгрузка по формуле:
 
                                                        
,                                               (3)
 
где hmax -
максимальная глубина проникновения индентора, ε = 0,75 для пирамиды
Берковича. H и E рассчитываются по формулам:
 
                                                         
,                                            (4)
 
                                                         
.                                          (5)
 
где υ - коэффициент Пуассона покрытия, 
      β  =1,034 для пирамиды Берковича, 
       А - площадь проекции отпечатка, определяемая из
глубины максимального проникновения индентора hmax. 
Для алмазного индентора коэффициент
Пуассона υi и модуль упругости Ei соответственно
составляют 0,07 и 1141 GPa.
Величину упругого восстановления
покрытий определяют по формуле:
 
                        We = 
.                                         (6)
 
Для оценки стойкости материалов к
упругой деформации разрушения можно использовать величину отношения твердости к
модулю упругости, H/E, называемую также индексом пластичности
материала, а для оценки сопротивления материала пластической деформации -
параметр H3 /E2 [4, 5].
Подытоживая вышеизложенное, можно сделать однозначный вывод, что в метрологическом обеспечении нуждаются как сам
технологический процесс создания новых наноструктур, так и измерения параметров
создаваемых наноустройств, а также характеристик материалов со специальными
физическими, химическими и биологическими свойствами. 
 
Литература:
1. Основы нанотехнологий и наноматериалов: учеб.
Пособие / П.А.Витязь, Н.А.Свидунович. – Минск: Выш.шк., 2010.-302 с. 
2. Балабанов В.Б., Балабанов И.Б. Нанотехнологии:
правда и вымысел. - М.: Эксмо, 2010. – 384 с.
3. Жетесова
Г.С., Жаркевич О.М. Выбор рационального способа восстановления элементов
гидростоек механизированных крепей // Materiály V mezinárodoni
vědeko-praktiká konference «Věda a technologie – Krok do
Budoucnosti -2009» (Dil 15). – Praha: Publishing House «Education and Science»,
2009. – С. 24 – 27.
4. Гусев А.И.
Наноматериалы, наноструктуры, нанотехнологии. – М.: ФИЗМАТЛИТ, 2005. – 416 с.
5. Андриевский Р.А., Ругуля А.В. Наноструктурные
материалы. М.: Академия, 2005. – 192 с.